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PATTERNING OF MATERIAL LAYERS IN SUBMICRON REGION

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U.S.TANDON W.S.KHOKLE
  • 作者U.S.TANDON W.S.KHOKLE
  • 出版社JOHN WILEY AND SONS
  • 标注页数183 页
  • 文件页数194 页
  • 文件大小23.12 MB
  • 出版时间1993
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