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真空镀膜原理与技术

真空镀膜原理与技术

方应翠主编；沈杰，解志强副主编
  • 作者方应翠主编；沈杰，解志强副主编
  • 出版社北京：科学出版社
  • 标注页数213 页
  • 文件页数223 页
  • 文件大小59.73 MB
  • 出版时间2014
  • ISBN9787030398987
内容简介
本书阐述了真空镀膜的应用，以及真空镀膜薄膜在基体表面生长的过程，探讨了薄膜生长的影响因素。具体介绍了真空镀膜的各种方法，包括真空蒸发镀、真空溅射镀、真空离子镀以及化学气相沉积的原理、特点、装置及应用。
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