射频等离子体物理学
- 作者（法）帕斯卡·夏伯特，（英）尼古拉斯·布雷斯韦特著；王友年，徐军，宋远红译
- 出版社北京：科学出版社
- 标注页数321 页
- 文件页数330 页
- 文件大小129.08 MB
- 出版时间2015
- ISBN9787030459190
内容简介
针对微电子工业中的材料处理工艺（如半导体芯片加工），介绍有关的的低气压射频等离子体的产生方法及物理特性，涉及目前最重要的三种射频等离子体源（单频及多频电容耦合，电感耦合，螺旋波耦合）及其关联性。书中也论述了低温高密度等离子体在微电子器件制备等领域应用的最新进展及相关技术问题。作者在书中精心设计了超过100道习题，有利于读者深入了解掌握所涉及的基本概念。
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