国际制造业先进技术译丛微米加工与纳米制造

（美）马克J.杰克逊（MARKJ.JACKSON）主编；缪旻，李振松译；郝一龙，金玉丰审

作者（美）马克J.杰克逊（MARKJ.JACKSON）主编；缪旻，李振松译；郝一龙，金玉丰审
出版社北京：机械工业出版社
标注页数375 页
文件页数399 页
文件大小66.98 MB
出版时间2016
ISBN9787111514824

内容简介

本书是微米/纳米加工技术方面的一本优秀著作，既有一定的理论深度，又有足够的广度，而且还有较高的可读性。它较为系统地梳理了微米加工（特别是非硅基加工）技术以及纳米加工手段，结合微流体、微惯性器件、纳米传感器等方面的典型案例，阐释了这些技术的原理和特点，提出了特定问题的高效率解决方案，给出了工艺设计方面的指南，并对这些技术的发展走向做出了高屋建瓴的判断。

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国际制造业先进技术译丛 微米加工与纳米制造

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