Kontrolle und Steuerung von Vakuumprozessen
Dr. M. Beyer; Dr. E. Keunecke; Dr. J. Moll; Dr. G. W. Oetjen; Dr. G. Voigtlaender-Tetzner
- 作者Dr. M. Beyer; Dr. E. Keunecke; Dr. J. Moll; Dr. G. W. Oetjen; Dr. G. Voigtlaender-Tetzner
- 卷第33卷
- 期第3期
- 印刷ISSN0009-286X
- 电子ISSN1522-2640
- 文件大小713.36KB
- 发表时间1961
- DOI10.1002/cite.330330312
- 页码185-190