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A study of photoreaction of stain films on silicon by infrared spectroscopy

A study of photoreaction of stain films on silicon by infrared spectroscopy

S. Yamazaki; Y. Kato; I. Taniguchi

作者S. Yamazaki; Y. Kato; I. Taniguchi
卷第7卷
期第1期
文件大小609.71KB
发表时间1967
DOI10.1016/0039-6028(67)90065-9
页码68-78

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