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Thermal Oxidation of Silicon: Growth Mechanism and Interface Properties

Thermal Oxidation of Silicon: Growth Mechanism and Interface Properties

A. G. Revesz

作者A. G. Revesz
卷第19卷
期第1期
印刷ISSN0370-1972
电子ISSN1521-3951
文件大小619.89KB
发表时间1967
DOI10.1002/pssb.19670190122
页码193-202

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