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Synthesis of silicon oxynitride

Synthesis of silicon oxynitride

I. Ya. Guzman; T. N. Purusova; D. N. Poluboyarinov; M. N. Karpilovskaya

作者I. Ya. Guzman; T. N. Purusova; D. N. Poluboyarinov; M. N. Karpilovskaya
卷第11卷
印刷ISSN1083-4877
电子ISSN1573-9139
文件大小480.85KB
发表时间1970-0304
DOI10.1007/bf01290078
页码177-182

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