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Backstreaming in diffusion pump systems

Backstreaming in diffusion pump systems

G Rettinghaus; WK Huber

作者G Rettinghaus; WK Huber
卷第24卷
期第6期
印刷ISSN0042-207X
文件大小933.34KB
发表时间1974
DOI10.1016/0042-207x(74)93103-0
页码249-255

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