Applications of the electron beam exposure system

• 作者Pease, R.F.W.; Ballantyne, J.P.; Henderson, R.C.; Voshchenkov, A.M.; Yau, L.D.
• 卷第22卷
• 期第7期
• 印刷ISSN0018-9383
• 电子ISSN1557-9646
• 文件大小1115.30KB
• 发表时间1975
• DOI10.1109/t-ed.1975.18150
• 页码393-399