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Annealing Characteristics of Arsenic-Implanted Silicon

Annealing Characteristics of Arsenic-Implanted Silicon

S. Nojima; H. Yamazaki; H. Harada; M. Fujimoto

作者S. Nojima; H. Yamazaki; H. Harada; M. Fujimoto
文件大小224.75KB
发表时间1977
DOI10.1143/JJAP.16.193

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