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Optical detector to monitor plasma etching

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W. R. Harshbarger; R. A. Porter; P. Norton

作者W. R. Harshbarger; R. A. Porter; P. Norton
卷第7卷
期第3期
印刷ISSN0361-5235
电子ISSN1543-186X
文件大小422.49KB
发表时间1978-05
DOI10.1007/bf02655647
页码429-440

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