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Low-stress physical vapor growth (PVT)

Low-stress physical vapor growth (PVT)

F. Rosenberger; G.H. Westphal

作者F. Rosenberger; G.H. Westphal
卷第43卷
期第2期
印刷ISSN0022-0248
文件大小387.78KB
发表时间1978
DOI10.1016/0022-0248(78)90162-8
页码148-152

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