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Plasma-promoted deposition of thin inorganic films

Plasma-promoted deposition of thin inorganic films

Rand, Myron J.

期刊名称Journal of Vacuum Science and Technology
作者Rand, Myron J.
卷第16卷
期第2期
印刷ISSN0022-5355
文件大小1176.67KB
发表时间1979-3
DOI10.1116/1.569965

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