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RBS and channelling analysis of As and Ga in laser doped silicon

R. Berger; F. Rudolf; C. Jaccard; M.E. Roulet; W. Lüthy; M.R.T. Siregar; H.P. Weber

作者R. Berger; F. Rudolf; C. Jaccard; M.E. Roulet; W. Lüthy; M.R.T. Siregar; H.P. Weber
卷第168卷
印刷ISSN0029-554X
文件大小360.09KB
发表时间1980
DOI10.1016/0029-554x(80)91295-1
页码469-472