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Fabrication of BaTiO
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films by RF planar-magnetron sputtering

Fabrication of BaTiO ₃ films by RF planar-magnetron sputtering

Nagatomo, Takao; Kosaka, Terunobu; Omori, Shigeru; Omoto, Osamu

期刊名称Ferroelectrics
作者Nagatomo, Takao; Kosaka, Terunobu; Omori, Shigeru; Omoto, Osamu
卷第37卷
期第1期
印刷ISSN0015-0193
电子ISSN1563-5112
文件大小495.48KB
发表时间1981-10
DOI10.1080/00150198108223520
页码681-684

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