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Rotating powder target for ion implanation

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U. von Wimmersperg; J.E. Prins; T.E. Derry

作者U. von Wimmersperg; J.E. Prins; T.E. Derry
卷第197卷
印刷ISSN0167-5087
文件大小94.15KB
发表时间1982
DOI10.1016/0167-5087(82)90360-x
页码597-598

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