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Silicon Micromechanical Devices

Silicon Micromechanical Devices

Angell, James B.; Terry, Stephen C.; Barth, Phillip W.

作者Angell, James B.; Terry, Stephen C.; Barth, Phillip W.
卷第248卷
期第4期
印刷ISSN0036-8733
文件大小928.42KB
发表时间1983
DOI10.1038/scientificamerican0483-44
页码44-55

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