Electrical characteristics of thin Ni2Si, NiSi, and NiSi2layers grown on silicon
E. G. Colgan; M. Mäenpää; M. Finetti; M-A. Nicolet
- 作者E. G. Colgan; M. Mäenpää; M. Finetti; M-A. Nicolet
- 卷第12卷
- 期第2期
- 印刷ISSN0361-5235
- 电子ISSN1543-186X
- 文件大小628.12KB
- 发表时间1983-03
- DOI10.1007/bf02651140
- 页码413-422