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Vapour growth mechanism of silicon layers by dichlorosilane decomposition

Vapour growth mechanism of silicon layers by dichlorosilane decomposition

C.E. Morosanu; D. Iosif; E. Segal

作者C.E. Morosanu; D. Iosif; E. Segal
卷第61卷
期第1期
印刷ISSN0022-0248
文件大小665.78KB
发表时间1983
DOI10.1016/0022-0248(83)90286-5
页码102-110

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