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Simulation of three-dimensional ion implantation distributions

Simulation of three-dimensional ion implantation distributions

D. G. Ashworth; M. Moulavi-kakhki; R. Oven

作者D. G. Ashworth; M. Moulavi-kakhki; R. Oven
文件大小645.51KB
发表时间1985
DOI10.1088/0022-3719/18/26/015

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