Thermodynamic and kinetic properties of arsenic-implanted silicon

• 作者G.F. Cerofolini; P. Manini; L. Meda; M.L. Polignano; G. Queirolo; F. Nava; G. Ottaviani; M. Gallorini
• 卷第135卷
• 期第1期
• 印刷ISSN0040-6090
• 文件大小784.30KB
• 发表时间1986
• DOI10.1016/0040-6090(86)90089-1
• 页码59-72