6198. Submicron pattern fabrication by focused ion beams: T Kato et al, J Vac Sci Technol, B3, 1985, 58–61

• 卷第36卷
• 期第10期
• 印刷ISSN0042-207X
• 文件大小191.60KB
• 发表时间1986
• DOI10.1016/0042-207x(86)90465-3