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Metal atom catalyzed oxidation of silicon

Metal atom catalyzed oxidation of silicon

G.R. Castro; J.E. Hulse; J. Küppers

作者G.R. Castro; J.E. Hulse; J. Küppers
卷第27卷
期第3期
印刷ISSN0169-4332
文件大小503.86KB
发表时间1986
DOI10.1016/0169-4332(86)90132-7
页码262-274

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