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Peroxypolytungstic acids: A new inorganic resist material

Okamoto, Hiroshi; Iwayanagi, Takao; Mochiji, Kozo; Umezaki, Hiroshi; Kudo, Tetsuichi

期刊名称Applied Physics Letters
作者Okamoto, Hiroshi; Iwayanagi, Takao; Mochiji, Kozo; Umezaki, Hiroshi; Kudo, Tetsuichi
卷第49卷
期第5期
印刷ISSN0003-6951
文件大小348.33KB
发表时间1986
DOI10.1063/1.97147