Laser chemical vapor deposition of gold: Part II
- 期刊名称Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
- 作者Baum, Thomas H.
- 卷第4卷
- 期第5期
- 印刷ISSN0734-211X
- 文件大小842.18KB
- 发表时间1986-9
- DOI10.1116/1.583481
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