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Laser-Assisted Selective Chemical Etching of GaAs/AlGaAs Layered Structures

Laser-Assisted Selective Chemical Etching of GaAs/AlGaAs Layered Structures

Brown, R. T.; Black, J. F.; Sacks, R. N.; Peterson, G. G.; Leonberger, F. J.

期刊名称MRS Proceedings
作者Brown, R. T.; Black, J. F.; Sacks, R. N.; Peterson, G. G.; Leonberger, F. J.
卷第75卷
电子ISSN1946-4274
文件大小1881.45KB
发表时间1986-1
DOI10.1557/proc-75-411

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