The application of secondary Ion mass spectrometry to surface analysis of semiconductor substrates and devices
- 作者A. Brown; J. A. van den Berg; J. C. Vickerman
- 卷第9卷
- 期第5期
- 印刷ISSN0142-2421
- 电子ISSN1096-9918
- 文件大小788.03KB
- 发表时间1986
- DOI10.1002/sia.740090508
- 页码309-317
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