Discharge cleaning efficiency and behavior of impurity gases
Hiroaki Kojima; Hideo Sugai; Takayoshi Okuda
- 作者Hiroaki Kojima; Hideo Sugai; Takayoshi Okuda
- 卷第107卷
- 期第2期
- 印刷ISSN0424-7760
- 电子ISSN1520-6416
- 文件大小671.41KB
- 发表时间1987
- DOI10.1002/eej.4391070204
- 页码31-43