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Large diameter ion beam implantation system

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K. Matsuda; F. Fukumaru; Y. Mizutani; M. Konishi; K. Matsunaga

作者K. Matsuda; F. Fukumaru; Y. Mizutani; M. Konishi; K. Matsunaga
卷第21卷
印刷ISSN0168-583X
文件大小160.19KB
发表时间1987
DOI10.1016/0168-583x(87)90848-2
页码314-316

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