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Structural, optical and electrical properties of RF-sputtered a-SiGe:H:O alloys

Structural, optical and electrical properties of RF-sputtered a-SiGe:H:O alloys

J.M.T. Pereira; P.K. Banerjee; S.S. Mitra

作者J.M.T. Pereira; P.K. Banerjee; S.S. Mitra
卷第94卷
期第3期
文件大小633.56KB
发表时间1987
DOI10.1016/s0022-3093(87)80063-7
页码283-293

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