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Charge generation in thin SiO2 polysilicon-gate MOS capacitors

Charge generation in thin SiO2 polysilicon-gate MOS capacitors

P. Fazan; M. Dutoit; C. Martin; M. Ilegems

作者P. Fazan; M. Dutoit; C. Martin; M. Ilegems
卷第30卷
期第8期
印刷ISSN0038-1101
文件大小577.92KB
发表时间1987
DOI10.1016/0038-1101(87)90008-6
页码829-834

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