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Thin polyoxide films grown by rapid thermal processing

Thin polyoxide films grown by rapid thermal processing

Alvi, N.S.; Lee, S.K.; Dim-Lee Kwong,

期刊名称IEEE Electron Device Letters
作者Alvi, N.S.; Lee, S.K.; Dim-Lee Kwong,
卷第8卷
期第5期
印刷ISSN0741-3106
文件大小280.81KB
发表时间1987-05
DOI10.1109/edl.1987.26601
页码197-199

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