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Silicon and Silicon Dioxide Thermal Bonding

Black, Robert D.; Hall, Ernest L.; Lewis, Nathan; Gilmore, Robert S.; Arthur, Steven D.; Lillquist, Robert D.

期刊名称MRS Proceedings
作者Black, Robert D.; Hall, Ernest L.; Lewis, Nathan; Gilmore, Robert S.; Arthur, Steven D.; Lillquist, Robert D.
卷第107卷
电子ISSN1946-4274
文件大小3160.33KB
发表时间1987-1
DOI10.1557/proc-107-495