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Halogen and Mercury Lamp Annealing of Arsenic Implanted into Silicon

Halogen and Mercury Lamp Annealing of Arsenic Implanted into Silicon

K. Yokota; K. Muta; M. Kimura; S. Tamura; S. Ishihara; I. Kimura

作者K. Yokota; K. Muta; M. Kimura; S. Tamura; S. Ishihara; I. Kimura
文件大小591.92KB
发表时间1987
DOI10.1143/JJAP.26.L87

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