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An introduction to gold gettering in silicon

An introduction to gold gettering in silicon

Thomas A. Baginski

作者Thomas A. Baginski
卷第20卷
期第3期
印刷ISSN0017-1557
电子ISSN2190-7579
文件大小5981.16KB
发表时间1987-09
DOI10.1007/bf03214657
页码47-53

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