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Study of oxygen effects in secondary ion energy distributions

Study of oxygen effects in secondary ion energy distributions

Takeshi Ohwaki; Yasunori Taga

作者Takeshi Ohwaki; Yasunori Taga
卷第33卷
印刷ISSN0168-583X
文件大小222.16KB
发表时间1988
DOI10.1016/0168-583x(88)90621-0
页码523-525

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