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Doping of rf-sputtered a-SiGe:H alloys

Doping of rf-sputtered a-SiGe:H alloys

P.K. Banerjee; J.M.T. Pereira; G.A. Hanidu; S.S. Mitra

作者P.K. Banerjee; J.M.T. Pereira; G.A. Hanidu; S.S. Mitra
卷第104卷
印刷ISSN0022-3093
文件大小315.87KB
发表时间1988
DOI10.1016/0022-3093(88)90387-0

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