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Microwave effect in RF magnetron sputtering of PbTiO3

Microwave effect in RF magnetron sputtering of PbTiO3

M. Okuyama; Y. Togami; Y. Hamakawa

作者M. Okuyama; Y. Togami; Y. Hamakawa
印刷ISSN0169-4332
文件大小285.13KB
发表时间1988
DOI10.1016/0169-4332(88)90361-3
页码625-631

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