PLASMA ANODISATION OF SILICON FOR ADVANCED VLSI
TAYLOR, S.; ECCLESTON, W.; RINGNALDA, J.; MAHER, D. M.; EAGLESHAM, D. J.; HUMPHREYS, C. J.; GODFREY, D. J.
- 期刊名称Le Journal de Physique Colloques
- 作者TAYLOR, S.; ECCLESTON, W.; RINGNALDA, J.; MAHER, D. M.; EAGLESHAM, D. J.; HUMPHREYS, C. J.; GODFREY, D. J.
- 卷第49卷
- 印刷ISSN0449-1947
- 文件大小1885.43KB
- 发表时间1988-09
- DOI10.1051/jphyscol:1988482