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MIM capacitor fabrication and assessment for GaAs MMICs

MIM capacitor fabrication and assessment for GaAs MMICs

J. P. Nagle; S. P. S. Sangha; P. J. West

作者J. P. Nagle; S. P. S. Sangha; P. J. West
卷第18卷
期第2期
印刷ISSN0361-5235
电子ISSN1543-186X
文件大小238.42KB
发表时间1989-03
DOI10.1007/bf02657403
页码167-169

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