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Disilane gas source Si-MBE

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Hiroyuki Hirayama; Toru Tatsumi; Naoaki Aizaki

作者Hiroyuki Hirayama; Toru Tatsumi; Naoaki Aizaki
卷第95卷
文件大小310.62KB
发表时间1989
DOI10.1016/0022-0248(89)90446-6
页码476-479

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