High vacuum production in the microelectronics industry: P Duval, Elsevier Science Publishers BV, Amsterdam, 1988. 228 pp. Price US$86.75, Dfl165.00

• 作者Walter Steckelmacher
• 卷第39卷
• 期第6期
• 印刷ISSN0042-207X
• 文件大小60.42KB
• 发表时间1989
• DOI10.1016/0042-207x(89)90639-8