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Nanofabrication using inorganic resists

Nanofabrication using inorganic resists

J.M. Macaulay; R.M. Allen; L.M. Brown; S.D. Berger

作者J.M. Macaulay; R.M. Allen; L.M. Brown; S.D. Berger
卷第9卷
印刷ISSN0167-9317
文件大小1509.62KB
发表时间1989
DOI10.1016/0167-9317(89)90119-6
页码557-560

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