Implantation temperature dependence of electrical activation, solubility, and diffusion of implanted Te, Cd, and Sn in GaAs

Pearton, S. J.; Williams, J. S.; Short, K. T.; Johnson, S. T.; Jacobsen, D. C.; Poate, J. M.; Gibson, J. M.; Boerma, D. O.

期刊名称Journal of Applied Physics
作者Pearton, S. J.; Williams, J. S.; Short, K. T.; Johnson, S. T.; Jacobsen, D. C.; Poate, J. M.; Gibson, J. M.; Boerma, D. O.
卷第65卷
期第3期
印刷ISSN0021-8979
文件大小1332.03KB
发表时间1989
DOI10.1063/1.343044

发现好书期刊，享受阅读乐趣