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XRD and RBS study of annealing effects in titanium implanted a-silicon films

Vidwans, S. V.; Salvi, V. P.; Rangwala, A. A.; Kuldeep, ; Jain, Animesh K.; Arora, B. M.

期刊名称Radiation Effects
作者Vidwans, S. V.; Salvi, V. P.; Rangwala, A. A.; Kuldeep, ; Jain, Animesh K.; Arora, B. M.
卷第107卷
印刷ISSN0033-7579
文件大小424.21KB
发表时间1989-03
DOI10.1080/00337578908228556
页码111-119