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Ion Beam Assisted Film Growth || IONIZED CLUSTER BEAM DEPOSITION

Ion Beam Assisted Film Growth || IONIZED CLUSTER BEAM DEPOSITION

TAKAGI, T.
  • 作者TAKAGI, T.
  • 文件大小3058.00KB
  • 发表时间1989
  • DOI10.1016/B978-0-444-87280-7.50013-4
  • 页码253-288
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