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Resist exposure optimization using figure of merit of resist profile

N.N. Kundu; K.I. Arshak; B.P. Mathur; S.N. Gupta

作者N.N. Kundu; K.I. Arshak; B.P. Mathur; S.N. Gupta
卷第9卷
印刷ISSN0167-9317
文件大小274.89KB
发表时间1989
DOI10.1016/0167-9317(89)90127-5
页码595-598

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