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Deposition of SiC films by pulsed excimer laser ablation

Balooch, M.; Tench, R. J.; Siekhaus, W. J.; Allen, M. J.; Connor, A. L.; Olander, D. R.

期刊名称Applied Physics Letters
作者Balooch, M.; Tench, R. J.; Siekhaus, W. J.; Allen, M. J.; Connor, A. L.; Olander, D. R.
卷第57卷
期第15期
印刷ISSN0003-6951
文件大小566.53KB
发表时间1990
DOI10.1063/1.103346