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A study of Si implanted with oxygen using spectroscopic ellipsometry

A study of Si implanted with oxygen using spectroscopic ellipsometry

McMarr, P. J.; Mrstik, B. J.; Barger, M. S.; Bowden, G.; Blanco, J. R.

期刊名称Journal of Applied Physics
作者McMarr, P. J.; Mrstik, B. J.; Barger, M. S.; Bowden, G.; Blanco, J. R.
卷第67卷
期第12期
印刷ISSN0021-8979
文件大小1658.18KB
发表时间1990
DOI10.1063/1.344554

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